電子超純水系統(tǒng)

以下是電子超純水系統(tǒng)的介紹：

系統(tǒng)概述

電子超純水系統(tǒng)是專為電子行業(yè)生產(chǎn)超高純度水的設(shè)備，能為芯片制造、半導(dǎo)體加工等對水質(zhì)要求高的工藝提供優(yōu)質(zhì)水源，去除水中幾乎所有的雜質(zhì)，滿足精密制造對水質(zhì)的嚴(yán)苛要求。

系統(tǒng)構(gòu)成

- 預(yù)處理系統(tǒng)：包括多介質(zhì)過濾器去除懸浮物、泥沙等大顆粒雜質(zhì)；活性炭過濾器吸附余氯、有機(jī)物等；精密過濾器攔截更小粒徑的顆粒，保護(hù)后續(xù)設(shè)備。

- 反滲透系統(tǒng)：利用高壓泵使水通過反滲透膜，去除水中的大部分鹽分、有機(jī)物、微生物等，是除鹽的關(guān)鍵步驟。

- 離子交換系統(tǒng)：通常采用混床樹脂，進(jìn)一步去除水中殘留的微量離子，實(shí)現(xiàn)深度除鹽，提高水的純度。

- 精處理系統(tǒng)：有超濾裝置去除微小顆粒和膠體；紫外線殺菌器殺滅細(xì)菌和病毒；拋光混床對水質(zhì)進(jìn)行最終的精細(xì)處理，確保水質(zhì)達(dá)到超純標(biāo)準(zhǔn)。

- 供水系統(tǒng)：由超純水儲(chǔ)存罐（氮封水箱）和輸送泵等組成，通過循環(huán)管路將超純水穩(wěn)定地輸送到各個(gè)用水點(diǎn)，保證用水的連續(xù)性和穩(wěn)定性。

系統(tǒng)特點(diǎn)

- 超高水質(zhì)：能生產(chǎn)出電阻率高達(dá)18MΩ·cm以上的超純水，滿足電子行業(yè)嚴(yán)格的水質(zhì)要求。

- 自動(dòng)化程度高：采用先進(jìn)的自動(dòng)化控制系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控、自動(dòng)調(diào)節(jié)運(yùn)行參數(shù)、故障報(bào)警和診斷等功能，減少人工操作，提高系統(tǒng)運(yùn)行的可靠性和穩(wěn)定性。

- 穩(wěn)定運(yùn)行：系統(tǒng)設(shè)計(jì)合理，關(guān)鍵設(shè)備采用高品質(zhì)材料和部件，具備良好的抗腐蝕、抗污染能力，可長期穩(wěn)定運(yùn)行，降低維護(hù)成本。

應(yīng)用領(lǐng)域

- 半導(dǎo)體制造：用于芯片清洗、光刻、蝕刻等工藝，防止雜質(zhì)影響芯片性能和成品率。

- 顯示面板生產(chǎn)：如液晶面板、OLED面板制造中的鍍膜、清洗等工序，保證面板的顯示質(zhì)量和穩(wěn)定性。

- 電子元器件生產(chǎn)：在電容器、電阻器、集成電路封裝等生產(chǎn)過程中，提供高純度的清洗用水和工藝用水。

核心技術(shù)指標(biāo)

典型工藝